○　特　長　○

◇　C/Cコンポジット（炭素-炭素複合材）を使用したヒーターが石英ガラスに覆われている､酸素雰囲気で最高1000℃までの昇温が可能なフラットヒーターです。

◇　薄膜装置（CVD/スパッタリングなど）半導体製造装置（基板加熱/フラッシュアニールなど）への組み込みその他多目的に使用できます。