〇　特　長　〇

◇　超高分解能スケールの搭載や､温度変化による測定結果への影響を最小化する様々な技術により､E0、 MPE = 0.5+L/500μmの高精度を実現しています。

◇　ZEISS PRISMOシリーズで最も高い分解能 0.02μmスケールを各軸に搭載。さらに､スケール素材には熱膨張係数の極めて小さいZerodur(ゼロデュア)を採用しており､環境温度の変化による精度への影響を最小限に抑制します。

◇　ガイドの真直度誤差を64 の格子に細かく分割して補正するFineCAAを採用。さらに､校正時に測定力を変えて同一箇所を複数回プロービングすることでスタイラスや校正球のたわむ度合いを求める「テンソル校正」により､測定結果からたわみ誤差を取り除くことで高精度測定を実現しています。