〇　特　長　〇

◇　MSシリーズはスクリュー型ドライ真空ポンプに分類される真空ポンプです。従来のLSシリーズを基に、耐食性と粉体排出性を向上させた耐プロセス型のドライ真空ポンプです。腐食性ガスや粉体排気を伴う真空プロセスで使用することを考慮し設計されています。

◇　ロータシャフトやシリンダー等の主要部材に特殊表面処理を施す事により高い耐食性を実現しています。

◇　スクリュー型のロータシャフトにULVAC独自のユニーク設計によって高い粉体排出性を実現しています。

◇　大気圧から到達圧力まで全圧力領域で連続運転が可能です。