〇　特　長　〇

◇　高精度・・・回転案内部にIKOクロスローラベアリングを組込み、テーブル上面の振れ量は5μm以下を実現しています。

◇　低断面、高剛性・・・回転案内部にあらゆる方向に対して高剛性を発揮するIKOクロスローラベアリングを採用。更にクロスローラベアリングを直接テーブルとすることで低断面を実現しています。

◇　設計工数削減・・・テーブルには、装置のテーブルや検査対象物等を直接取り付けることが可能です。機構部品を使用して一から回転テーブルの設計をする手間を削減できます。